Fabricación de Recubrimientos

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Figura 1. Equipo 1 para el recubrimiento de películas sobre materiales, provisto de tres magnetrones circulares (Ø=5cm). Todos los magnetrones están conectados a fuentes de alimentación AC, DC y HiPIMS

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Figura 2. Equipo 2 para el recubrimiento de películas sobre materiales, provisto de dos magnetrones circulares (Ø=5cm) y uno rectangular (20.0 cm x 7.5cm). Todos los magnetrones están conectados a fuentes de alimentación AC, DC y HiPIMS.

Compartido con Nano4Energy (https://nano4energy.eu/)

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Figura 3. Equipo coaxial provisto de un magnetrón coaxial de 15 cm de longitud y Ø=4c. Todos los magnetrones están conectados a fuentes de alimentación AC, DC y HiPIMS.

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